Laurell自动滴胶匀胶机WS-650Mz-23NPPB/UD3

1、 系统概述
1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全；
1.2 防腐装置；
★1.3设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进***流保护；
1.4 通信接口，蓝牙连接
2、处理腔体
2.1 处理腔体内径不小于9.5英寸 (241毫米)；
2.2 Wafer芯片尺寸至少满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托；
2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质；
3、 旋转马达
3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm，
3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec；
3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过&plu***n;1%；
4、控制系统
★4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step ，精度不超过0.1s；
★4.2 配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006%；
4.3 可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态；
★4.4 分辨率要小于0.5RPM，重复性误差要小于&plu***n;0.5RPM，具有国际NIST标准认证，并且无需再校准；
5、配套泵浦
5.1 配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹；
5.2 真空吸附范围25-28 英寸***柱 (~635-711毫米***柱)可调节，抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) ；
6、系统附件
6.1 原装进口水平测试仪；
6.2 两袋密封圈；
6.3 配有两套可更换的废液接收单元；
6.4 UD自动滴胶装置：UD-3带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒；
6.5 EBR(Edge Bead Remover)：晶圆去边，机械装置；