PECVD石墨舟生产厂家-石金科技(推荐商家)

1组装现场准备工作做好后，领取石墨舟配件；

2将对应卡点装配如舟片，注意自检不要漏装，检测卡点装配质量合格后待用；

3石墨、陶瓷双头螺杆的一端旋入对应的螺母（螺帽）后待用；

4将备用的M6陶瓷螺杆传入舟片，平放在工作台面上，

6放置内舟片，PECVD石墨舟厂家，注意每片安装检查舟片次序与标准实样舟一致、方向与外舟片一致（卡点、方框上下对应）；

7放置第二层陶瓷管，

8参考工步6amp;7一次类推，

9放置外片，目测舟片上下对应、位置正确，旋入螺母；

10依据标准实样，放置石墨舟两端隔块、穿入备用M8陶瓷螺杆amp;石墨螺杆

11将石墨舟翻转平放在工作台面上，旋入M8螺母（螺帽）；

12将石墨舟翻转，所有螺母（螺帽）少许松动；

13放入校正架卡槽内、靠上限位，然后将螺母（螺帽）用适当力度锁紧；

14从校正架取下石墨舟，目测检查外观。

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

PE镀膜后四周发白浅析，近期经常接到客户咨询，石墨舟镀膜后发现膜后的片子四周发白或四周发红。并且如果是新舟直接用就没有这个问题，用了第1个循环后，清洗后就会发现这个问题。

这次就问题发生的原因做一个说明，并且给大家一些解决方法。

附下图颜色与膜厚的关系

一般来说我们机台出现问题基本上为三类，偏红，正常蓝，偏白（对应表中的淡蓝色，无明确的白色膜厚，此时的白色部分膜厚接近90左右）

硅片在PECVD工序之前是常规的灰白色，通过一定的化学反应在片子表面生成一层膜。片子工艺结束后，就会得到我们需要的工艺颜色。

客户所说的四周发白，可以理解成膜厚偏厚，PECVD石墨舟，假如建一个基准以77-83为正常膜厚，小于77很多可以理解成红片，大于83很多可以理解成偏白。上面说了片子是通过一定的化学反应生长出来的，现在客户反应的是偏白，就代表膜长的厚。厚的生长速度一般同温度和高频的功率有关。

石墨舟是正负间隔连接的，可以等效看成是多个电容器的并联，那么舟片正对面积和舟片间距的改变就会导致电容器容抗的变化，PECVD石墨舟加工，导致镀膜的场强变化。建议你增加压力，一般的效果是中间镀膜异常区域的面积会越来越小，然后适当改变气流比例(注意是气流比例，PECVD石墨舟生产厂家，SIH4在特气中的比例较为重要)，同时适当等比例增加气流总量！为了能有效增加场强强度，功率也需要增加！