天津联科思创科技发展有限公司成立于于2003年,历经10余年不断地发展壮大,已成为***化压缩空气系统的集成供应商,根据客户要求提供设计、研发、技术、生产、销售一体化服务。产品涉及无油空压机系统,以及空气系统相关配件如:无油空压机、真空泵、膜式干燥器、吸附式干燥器、电气比例阀、质量流量计、压力变送器、压力传感器,压力开关等。
环形垫圈测压力传感器的基本原理 环形垫圈测压力传感器就是利用晶体管的压敏效应,压力使由晶体管组成的环形振荡器的谐振频率发生变化,通过检测环形振荡器的振荡频率的改变来检测压力的大小。
环形垫圈测压力传感器主要由环形振荡器、混 频器和滤波器构成,如图1。在图中,有两个电学参数完全一致的环行振荡器,它们分布在硅梁结构的应力敏感集中区,一个环振的源漏极平行于应力方向(即源漏极之间的电流方向和应力方向平行);称为纵向环形振荡器,另一个环振的源漏极和应力方向垂直(即源漏极之间的电流方向和应力方向垂直),称为横向环形振荡器。在图1中,混频器做在非应力敏感的厚体硅上,滤波器是片外集成的。
当有压力P作用时,由于压敏效应,分布在硅梁结构应力敏感区的两个环形振荡器的振荡频率发生变化,压力传感器哪家好,纵向环形振荡器的振荡频率增加,而横向环形振荡器的振荡频率减小,它们的输出频率通过混频器实现相减,从混频器输出的频率信号通过一个低通滤波器,消除高次谐波,压力传感器,得到输出信号f。通过检 测信号f的频率,就可以得到压力P的值。
这种环形垫圈测压力传感器的特点是采用环行振荡器作为敏感器件,其输出信号是频率信号。压力是一种模拟量,频率信号是一种准数字量,压力传感器批发商,这样就实现了从模拟量向数字量的转化。和传统谐振式压力计相比较,环形垫圈测压力传感器的优点是制作简单,不需要精密的屏蔽设备。另外,采用混频器作为片内信号处理器件,既能减小温度对输出的影响,而且可以消除很大的共模基频信号,便于后处理电路的直接应用。和传统的压阻式压力计相比较,环形垫圈测压力传感器的优点是它的输出信号是频率信号,数字化程度高。此外,和传统的压阻式压力计比较,环形垫圈测压力传感器的温度性能改进了很多。
环形垫圈的谐振频率和晶体管的迁移率成正比。而由晶体管的压敏效应我们知道,晶体管的迁移率正比于晶体管所受到的由压力引起的应力,所以,通过检测环形垫圈谐振频率的变化,就可以得到压力的大小。 环形垫圈有多种电路形式,***常见的有NMOS、PMOS和CMOS环振电路。通过比较,可以发现,NMOS环形垫圈制作工艺简单,但是输出特性比较差,存在阈值损失。CMOS环形垫圈的特性好,但是制作工艺比较复杂。所以本文采用PMOS环形垫圈。用PMOS器件作为敏感元件,是因为和NMOS器件相比,PMOS器件的压敏系数大,压敏效应更明显,并且PMOS器件的温度系数小。用PMOS工艺制作电路,是因为和CMOS工艺相比,PMOS工艺流程简单,成品率高。
通过对环形垫圈频率信号的处理,得到环振的差频输出。这样不但可以减小温度对输出的影响,而且增大了对压力的输出响应频率,另外,还可以消除很大的共模基频信号,便于后处理电路的直接应用。在本设计中采用混频器来实现频率相减功能。
天津联科思创科技发展有限公司成立于于2003年,历经10余年不断地发展壮大,已成为***化压缩空气系统的集成供应商,根据客户要求提供设计、研发、技术、生产、销售一体化服务。产品涉及无油空压机系统,以及空气系统相关配件如:无油空压机、真空泵、膜式干燥器、吸附式干燥器、电气比例阀、质量流量计、压力变送器、压力传感器,压力开关等。
额定压力范围额定压力范围是满足标准规定值的压力范围。也就是在高和低温度之间,传感器输出符合规定工作特性的压力范围。在实际应用时传感器所测压力在该范围之内。
大压力范围大压力范围是指传感器能长时间承受的大压力,且不引起输出特性改变。特别是半导体压力传感器,为提高线性和温度特性,一般都大幅度减小额定压力范围。因此,即使在额定压力以上连续使用也不会被损坏。一般大压力是额定压力高值的2-3倍。
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适用范围用于对***有创血压如动脉压、中心静脉压、肺动脉压、左冠状动脉压多种压力进行监测,直接获得血压这一生理参数,为临床对***的诊断和愈后估计提供客观依据。结构规格选用***级聚碳酸脂作为传感器主体及测压连接管的材料。包装规格为CH-DPT-248、CH-DPT-248Ⅱ、CH-DPT-248Ⅲ。
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