




你现在使用的电脑有一个***处理器,它的晶圆片是用一个非常复杂的镜头***加工而来的。这类镜头可能含有20或30个以上的镜片组成,是世界上精细的镜头。如果你想更好的学习光学设计,这将是一个好的学习例子。本课将给出一个学习例子。
镜片数22片
物高31mm
物方数值孔径NA 0.2
波长为UV
像方晶圆尺寸是12.66mm
总长小于1200mm
这种透镜在物体和图像上都是有限共轭的,分两步设计。首先,我们将为左半部分设计一个镜片组,可以让光束经过遮光罩,衍射光学,光束到中心后被准直。然后我们将为右半部分设计第二个镜片组,将准直光束成像到晶圆片上。
具有使用其他镜头设计程序经验的SYNOPSYS?用户在遇到程序中的许多功能时会感到困惑。 他们应该使用哪个界面? 为什么不按照以前的方式做事呢? 一个常见的疑问是有关电子数据表的,它在某些程序中总是会在显示器上显示。 新用户有时认为这是个好主意。但我们并不赞同。
当然,SYNOPSYS有一个电子表格, 它是在您需要时提供的,但并不需要一直打开。
当然,光学变焦,您可以通过在编辑框中输入来更改镜头数据,光学照明,并通过镜头预览图片更新来显示更改。SPS还允许您访问更多控制特定参数的对话框。例如,查看表3的折射率数据左边的深红色方块。这些方块是通向子对话框的入口。该镜头中所有元件的实际折射率的框当前都填充了浅青色,这表明您不能直接编辑这些数字。它们是从其他数据派生出来的,你必须编辑派生之前的数据。
为了说明,光学,我们单击表面3的折射率标志框将打开一个新对话框。

我们注意到有些镜片边缘很薄; 我们将AEC命令行更改为AEC 2 1 1。
这将对任何厚度小于2毫米的边缘进行优化。
此外,由于某些元件相当薄,因此在AANT文件中添加一个命令行:ACM 3 1 1
这将对任何厚度小于3毫米的厚度进行优化。 再次优化和模拟退火,评价函数现在为0.434。 (向评价函数添加任何新内容通常会使值上升。)我们仍然怀疑元件1可以被删除,所以我们再次运行AED。 结果显示为表面5。所以我们让它删除该元件并再次优化。 现在评价函数为0.451,我们再次运行AEI。 程序在曲面7处添加元件,评价函数降至0.35。 这是一个非常好的镜头
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