太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。
◆温区精度(静态闭管测试):600℃<工作温度<1200℃:&plu***n;0.5℃ 300℃≤工作温度≤600℃:&plu***n;1℃
◆单点温度稳定性(静态闭管测试): 600℃<工作温度<1200℃:&plu***n;0.5℃/24h
◆气体流量设定精度:&plu***n;2%FS
◆气路系统气密性:1×10-7PA.m3/s
◆自动送料装置行程:~2000mm
青岛福润德微电子设备有限公司
普通会员第9年
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公司主营：太阳能扩散炉、程控高低温扩散炉、微控高低温扩散炉、低压化学气相沉积设备,真空烧结炉、氢气炉、链式烧结...