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深圳市石金科技股份有限公司***石墨材料厂家告诉您，石墨舟的清洗方法

进入PE炉管前应再次检查石墨板是否完好。建议预处理（饱和）正常时间在200-240分钟；随着石墨舟清洗次数的增多及时间的增加，石墨舟生产商，其饱和时间需要相应延长。清洗后的石墨舟应***行风淋或至少吹干一段时间，确保舟表 面没有水滴或水痕，再放进烘干箱。请勿直接将刚清洗完的石墨舟放进烘干箱。

168变196片，舟片间距肯定是要变化的，否则舟片间的电场强度就会降低很多。石墨舟的舟片间距和数量是对镀膜至关重要，增加了舟片就要相应的减少片间距，并增大射频电源的功率。你做168片的时候射频功率是2500W，建议做196提高到3000瓦试试。并且你的问题片只出现在中间靠近射频电源的地方很大的可能是石墨舟的问题，你的石墨舟电极突出一小部分这样会使电极和舟片间的电离强度增大，减小了这2片舟片间的沉积效果。电极隔块上的花纹就是放电沉积的结果，可以加的工艺气体流量看看是否有改善。设备应该是不存在什么问题的。

电极板间距的变化是比较关键的，一般来说，间距的变化对于Depo rate/U%以及Reflect影响很大，石墨舟哪家好，本身这种舟式多片结构对于reflect控制不是太好，无法做到每个电极板腔室的单独控制，也就会产生舟中间和头尾之间比较大的差异。

我们的PECVD工程师，石墨舟，建议不要改变电极间距（会影响等离子电场分布），原先我们也做过类似的变化，石墨舟批发，色差比较严重，现在基本是保证间距不变的基础上稍微增加几个电极板，效果还可以。