MarSurf WM 100 高精度光学测量仪
高精度光学测量仪 MarSurf WM 100 有亚纳米级分辨率和测量精度。3D 白光干涉仪测量系统。
特性
- 亚纳米分辨率和测量精确度下有最高精度
- 适合所有光学和反射表面、精细技术表面和电路板、半导体产品和生物组织表面
- 2D 表面分析和测量评估
- 地形学 3D 表面分析和测量评估
- 快速测量 #96 短测量时间
- 在最多 4 个轴上手动定位工作台和物体
- 多种镜头选择，可根据测量对象进行完美调整
- 采用花岗石底座的稳固型设计
- 基于 MountainsMap© 的专业评估软件
技术数据
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测量原则 |
使用干涉仪，白光干涉仪 |
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测量范围 mm |
传感器装置在 Z 方向可手动移动 200 mm |
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接口 |
230 V, 50 Hz |
应用
- 机器建造：所有类型纯金属表面（打磨，轧制等），以及激光结构表面、细陶瓷和塑料表面、铸模表面
- 医疗：植入体、假肢和仪器的金属、陶瓷和塑料表面
- 电子：涂层表面分析，电子和半导体组件的测量和分析
- 光学：各种光学组件（所有材料）的粗糙度分析
附件
- 传感器系统，包含：
- WLI 传感头
- 相机，768 x 582 像素，最高 48 图像/秒
- 100 µm Z 轴，带压电驱动
- WLI 软件模块，"Inspector" 软件
- 花岗石底座和立柱，配有手动定位传感器系统
- 手动 XY 载物台用于测头定位
- 20x0.4 DI 镜头（白光干涉仪）
- CT 120 双轴倾斜工作台
- 设置工作台角 +/- 30°
- 标准套件
- 白光干涉仪：WLI 物镜 2.5x0.075； 5x0.13； 10x0.3； 20x0.4； 50x0.55； 100x0.7
- 可选：配备减震器来为纳米和亚纳米范围测量优化减震