德国马尔湖北武汉***
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MarSurf CWM 100高精度计算机控制光学测量仪器
具有亚纳米级分辨率。综合性 3D 测量系统，包含共焦显微镜和***
特性
- 特殊显微镜技术，专用于重现高达物理极限的细微表面特征
- 在实时视频技术中进行表面扫描，提供快速而可靠的结果
- ***高质量物体的大型遴选
- 元素和结构的拓扑、高度、形状和位置的测量
- 稳定，免维护，使用寿命长
技术数据
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测量原则 |
使用干涉仪，***和共焦 |
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测量范围 mm |
传感器装置在 Z 方向可移动 100 mm，CNC 控制 |
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接口 |
230 V, 50 Hz |
应用
- 机器建造：所有类型纯金属表面（打磨，轧制等），以及激光结构表面、细陶瓷和塑料表面、铸模表面
- ***：植入体、假肢和仪器的金属、陶瓷和塑料表面
- 电子：涂层表面分析，电子和半导体组件的测量和分析
- 光学：各种光学组件（所有材料）的粗糙度分析
附件
- 传感器系统，包含：
- 共焦显微镜 KFM，带 6x 物镜转换器
- 相机，768 x 582 像素，***高 48 图像/秒
- 100 mm CNC 控制 Z 轴，集成 Heidenhain 玻璃分划尺
- WLI 软件模块，"Inspector" 软件
- 花岗石底座和立柱带传感器系统，CNC 控制载物台
- 机动多轴控制 Z 轴和 XY 工作台以***测头和像场合并
- 50x0.8 EPI 镜头（共焦显微镜）
- 20x0.4 DI 镜头（***）
- CT 120 双轴倾斜工作台
- 设置工作台角 /- 30°
- 标准设置
- 共焦显微镜：KFM 物镜 10x0.5； 20x0.75； 50x0.6，载物台和工件之间有 11 mm 间隙； 50x0.8； 100x0.9
- ***：WLI 物镜 2.5x0.075； 5x0.13； 10x0.3； 20x0.4； 50x0.55； 100x0.7