薄膜体声波谐振器缩写为FBAR，是近期发展起来的一种MEMS技术频率器件，主要用在射频领域，作为射频滤波器、双工器、多任务器和振荡器等。与传统声表面波器件相比，具有频率高、体积小、承受功率大、效率高、可集成化等优势。
薄膜体声波谐振器存在的杂质：
主要是去除谐振器的基压及外壳上的油污，还有尘埃的颗粒。
再则，外壳模板是依靠外壳法兰边挂住外壳转换模板***孔边沿来实现***的，无法翻转或较大角度倾斜，清洗污垢的话，如直接用氮气吹外壳内部里面会导致外壳被吹出。
超声波清洗机的优势之在：
可以***大程度地清除内部污染，从而避免污染影像到产品的性能。
威固特VGT-607FTA超声波清洗机对薄膜体声波谐振器的帮助，从以下内容可体现出：
- 概述：
该清洗机是专为晶体行业类的产品而设计的超声波清洗设备。整个工艺流程由PLC编程控制，可根据清洗工艺要求，灵活设置动作参数。采用全自动化运作过程，清洗效果好，溶剂保持洁净时间长，实现清洗流程的自动化作业，降低操作人员劳动强度，提高设备的生产能力和清洗效果。
- 清洗工艺流程：
自动上料——洗净超声清洗——纯水超声清洗——纯水超声波漂洗——纯水超声清洗——纯水超声清洗——纯水超声波漂洗——自动下料。
- 各槽的规格配置：
1、各清洗槽内槽尺寸：（L×W×H）260×310×230mm；
2、所有槽均采用不锈钢材料制作；
3、所有加热槽体外侧均贴有保温材料保温。
机械臂结构组成：
多臂型机械臂由机架、机械臂传动系统、吊臂、电气控制装置等组成。
机架：全不锈钢制作的支撑架结构，焊接在设备底盘上，以保证机械强度及机械臂的稳定性。顶部安装有水平横移导轨。
横移传动系统：采用气缸配合直线导轨传动。PLC程序控制动作。保证横移动作的相对精度和稳定性。