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匀胶机(英文名：Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜
详细介绍：匀胶机(英文名：Spin Coater& Spin Processor)
行业俗称：匀胶台、匀胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、甩胶机
1、 匀胶机工作原理：
匀胶机（spin coater）的工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上，匀胶机常用于各种溶胶凝胶（Sol-Gel）实验中的薄膜制作，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。
2、匀胶机型号及技术参数如下：
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型号
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SPIN150i
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SPIN200i
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POLOS300
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POLOS450
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POLOS600
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基片范围
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直径160mm or 4ʺ方片
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直径260mm or 6ʺ方片
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直径360mm or 8ʺ方片
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直径460mm or 350mm方片
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直径600mm or 430mm方片
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程序段数
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无限制
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无限制
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无限制
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无限制
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30个程序
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操作步数
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无限制
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无限制
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无限制
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无限制
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90个步骤
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旋转速度
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0-12,000 rpm &plu***n;1rpm steps
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0-12,000 rpm &plu***n;1rpm steps
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0-12,000 rpm &plu***n;1rpm steps
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0-1500rpm &plu***n;1rpm steps
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0-1,500 rpm &plu***n;1rpm steps
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旋转精度
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&plu***n;0.1 rpm
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&plu***n;0.1 rpm
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&plu***n;0.1 rpm
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&plu***n;0.1 rpm
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&plu***n;0.1 rpm
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旋转方向
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顺时针、逆时针、交换摆
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顺时针、逆时针、交换摆
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顺时针、逆时针、交换摆
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顺时针、逆时针、交换摆
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顺时针、逆时针
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***大加速度
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30,000 rpm/sec
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30,000 rpm/sec
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30,000 rpm/sec
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≤1500rpm时取决于负载
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500 rpm/sec
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旋转时间
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无限制*,&plu***n; 0.1 seconds steps
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无限制*,&plu***n; 0.1 seconds steps
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无限制*,&plu***n; 0.1 seconds steps
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无限制*,&plu***n; 0.1 seconds steps
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1 to 999 sec/step
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腔体直径
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202 mm
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302 mm
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402 mm
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502 mm
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642mm
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外形尺寸
(w*h*d )
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274 x 250 x 451 mm
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380 x 307 x 559mm
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430 x 310 x 650mm
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795 x 638 x 922mm
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800 x 1,450 x 1,650mm
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触屏控制
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全彩触屏控制
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全彩触屏控制
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全彩触屏控制
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全彩触屏控制
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全彩触屏控制
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设备重量
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14Kg
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20Kg
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32Kg
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75Kg
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电源参数
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220V,50/60 Hz
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220V,50/60 Hz
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220V,50/60 Hz
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220V,50/60 Hz
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220V,50/60 Hz
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三、匀胶机的特点：
1、该匀胶机采用德国***技术：
2、匀胶机采用NPP天然聚丙烯材质构造设计，这种材质有很好的抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方；
3、匀胶机真空Chuck经精密加工制成，具有良好的光洁度及平整度，保证晶圆片被很好地吸附，主轴采用进口微型单列向心球轴承支撑，轴向有弹性垫及调整垫，可保障主轴具有较高的精度。
4、在安装结构上，采取了减振措施，保证了在运转时噪音很低，保证涂覆表面均匀，保证通过调节转速调节涂覆厚度。
5、匀胶机腔体配备吹氮(N2)功能，或压缩空气、氮气压力可通过调压阀和节流阀实现调节，与配套真空泵一同使用。
