品牌：希腊ThetaMetr***
名词：膜厚仪 膜厚仪、测厚仪、干涉仪、厚度测量仪
干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长(～10-7米)，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。
应用领域：
1、半导体晶片
2、液晶产品（CS,LGP,BIU）
3、微机电系统
4、光纤产品
5、数据存储盘（HDD,DVD,CD）
6、材料研究
7、精密加工表面
8、生物***工程
产品特点
1 、非接触式测量：避免物件受损。
2 、三维表面测量：表面高度测量范围为 2nm ---500μm。
3 、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4 、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达0.1nm。
5、高速数字信号处理器：实现测量仅需几秒钟。
6 、扫描仪：闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
8 、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算
Type 光谱范围 厚度测量范围**
FR-Basic UV/VIS 200nm - 850nm 1nm - 80μm
FR-Basic VIS/NIR 350nm – 1000nm 12nm - 120μm
FR-Basic RED/NIR 700nm – 950nm 200nm - 250μm
FR-Basic UV/NIR-HR 200nm - 1100nm 1nm - 120μm
FR-Basic UV/NIR-EXT 200nm - 1000nm 3nm - 80μm
FR-Basic NIR 900nm - 1700nm 100nm - 200μm
FR-Basic D VIS/NIR
FR-Basic D UV/NIR 350nm – 1700nm
200nm – 1700nm 12nm – 300μm
1nm – 300μm