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普通会员第17年

企业等级：普通会员

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所在地区：湖北武汉

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企业概况

全球工业和实验室设备供应集团：迈可诺公司全称“迈可诺技术有限公司”，英文简称“MYCRO”。这是一家富有创新精神的国际化高科技公司，专业提供光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商，公司网址为http://www.mycroinc.com。......

FR-portable 便携式膜厚仪

产品编号：76667753 更新时间：2019-06-24

价格：

来电议定

武汉迈可诺科技有限公司

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产品详情

FR-portable 便携式膜厚仪主要由以下系统组成：

Α白炽-LED混合集成式光源系统，通过内嵌式微处理器控制，使用寿命超过20000小时。

小型光谱仪，光谱范围370nm –1050nm,分辨精度可达3648像素， 16位级 A/D 分辨精度；配有USB通讯接口；

Β) FR-Monitor膜厚测试软件系统，

可***计算如下参数：

1）单一或堆积膜层的厚度；

2）静态或动态模式下，单一膜层的折射率；本软件包含了类型丰富的材料折射率数据库，可以有效地协助用户进行线下或者在线测试分析。本系统可支持吸收率，透射率和反射率的测量，还提供任何堆积膜层的理论性反射光谱，一次使用***，即可安装在任何其他电脑上作膜厚测试后的结果分析使用。

C) 参考样片：

a) 经校准过的反射标准硅片；

b) 经校准过的带有SiO2/Si 特征区域的样片；

c) 经校准过的带有Si3N4/SiO2/Si特征区域的样片；

D) 反射探针台和样片夹具

可处理***大的样品尺寸达200mm, 包含不规则的尺寸等；

手动调节可测量高度可达50mm；

可针对更大尺寸订制样片夹具；

Ε) 反射率测量的光学探针

内嵌系统6组透射光探针200μm, 1组反射光探针200μm；

F) 附件

FR-portable透射率测量套件；

Thickness measurement range	12nm – 90μm
Refractive Index calculation	P
Thickness measurement Accuracy	0.2% or 1nm
Thickness measurement Precision	0.04nm or 1‰ (0.01nm)
Thickness measurement stability	0.02nm
Sample size	1mm to 200mm and up
Spectral Range	400nm – 1100nm
Working distance	3mm-20mm
Spot size	0.35mm (diameter of the reflectance area)
Light Source Lifetime	20000h
W***elength resolution	0.8nm
Number of Layers Measured	Max. 5 layers
Measurement time (max acquisition speed)	10ms/point
A/D converter	16 bit
Power	USB – supplied
Dimensi***	300mm x 110mm x 40mm