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广州潽拓光电
BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修,爱德华STP-iXA3306CV分子泵
BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内***的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 STPiXA3305 系列的新技术)。
BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度,也等于BOC STP-iXA3305 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。
BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势:
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
紧凑型设计,包括完全集成的控制器
创新性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
BOC STP-iXA3306分子泵用途:
溅射
离子注入源,射束线泵送和站
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物)
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD


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广州潽拓光电——爱德华 Edward* ext 40020030ipx 24v dc
爱德华 Edward* ext 40020030ipx 24v dc维修***内容如下:
*超声波全方面清洗转/定子叶片及腔体并烘干
*更换了***原装进口陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品
*马达线圈阻值测量,安捷伦分子泵维修点,转子定子间隙测量
*超声波全方面清洗转/定子叶片及腔体并烘干 *更换了***原装进口陶瓷轴承,油棉及密封件等损耗品 *马达线圈阻值测量,转子定子间隙测量

Edward* ext 40020030ipx 24v dc 图片如下

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广州潽拓光电——TV301分子泵
特点:
功耗更低、性能更加
通过减少发热而节能,并提高可靠性
可拆卸的前级连接器
可连接各种前级泵
冷却方式灵活(风冷或水冷)
为风冷而优化的冷却翘片
通过降低工作温度进一步提高可靠性
泵具有优化的几何尺寸
功率要求低,前级耐压高及可承高气载

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