潽拓光电(图)-瓦里安真空泵主机-东莞瓦里安真空泵

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德国 Pfeiffer Vacuum 普发真空

分子泵 Hipace 80/TMH 071 系列的工作原理

设计/工作原理

普发真空于 1958 年由 W. Becker 博士开发涡轮分子泵并获 得专利。涡轮分子泵属于动能

真空泵的范畴。它们的设计类 似于涡轮机的设计。多级、具有叶盘的涡轮状转子在壳体内 旋

转。涡轮机或压缩机的叶片被统称为叶片装置。转子盘之 间插入的倒置镜是具有类似几何

形状的叶片定子盘。

轴承

通过两个球轴承安装涡轮分子泵转子轴需要将两个球轴承都 安排在前真空侧，瓦里安真空泵性能，因为轴承中

有润滑剂。这导致转子凭借其 较大质量产生的单边（悬臂）支撑

电动机/驱动器

能够提供旋转频率高达 1，500 Hz (90，000 rpm) 的无刷直流电 动机用于驱动转子。这使得叶

片速度是泵送气体所必需的。

如今，驱动器通常都是直接连接到泵上。电源是 24、48 或 72 伏的直流电，通过外部电源

包或集成在泵的电子单元中的 电源包产生电流

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PFEIFFER PKR251

大型伺服控制系统：伺服是使物体的位置、方位、状态等输出被控量能够跟随输入目标（或给定值）的任意变化的自动控制系统。它的主要任务是按控制命令的要求、对功率进行放大、变换与调控处理，瓦里安真空泵发动机，使驱动装置输出的力矩、速度和位置控制的非常灵活方便。

*全量程真空计 pkr 360 /361 与 pkr 251 /261 对比主要区别：

1、更小量程：1e-9 hpa (旧款真空计: 5e-9 hpa)

2、更紧凑的设计，更小尺寸：

3、***小化磁漏，东莞瓦里安真空泵，磁场更弱

4、新款真空计内部密封圈采用金属材质

5、根据客户实际应用，提供强/弱电流型号供选择

6、创新双腔室设计，更少的零部件，使用寿命更长

法兰尺寸 DN 25 ISO-KF，DN40 ISO-KF

测量范围 5·10-9- 1000 hPa

外壳内两根测量管（Pirani 和冷阴极（反磁控管）

法兰从大气到 UHV

耐腐蚀

适用于惰性气体的***高压力和温度范围 lt; 55 °C

单个法兰即可实现从大气到 UHV

显示范围从 5 · 10-9至 1000

hPa

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广州潽拓光电——Varian Turbo-V300HT

***的转子设计与Twis Torr技术相结合，可将泵级数减少30%

我们特有的整体型转子可减少材料应力并改善组装件容差

电机缩短启动时间并在气体负荷变化下提高泵的稳定性

热耗散更低，真空性能更高

***的水冷系统

优化的风冷系统

洁净的免维护真空