石墨舟厂家-石墨舟-东莞石金科技石墨制品

关于PECVD石墨舟工序标准物质的使用?

关于标准物质，大家都知道在计量时是做标准件使用的，石墨舟本文中讲到的标准物质将这一标准物质进行了详细化。

例如在PECVD工序主要操作是使用机器手进行工作，因此所提及的标准物质为标准机械手、标准石墨舟及标准上料小车三部分。

众所周知，机械手会有相应的准确度，在使用一段时间后，石墨舟，会由于使用的原因会造成一定的偏差，因此会造成在上料过程中夹石墨舟会倾斜，造成摔片现象。因此需要对机械手进行定期的校正，石墨舟生产，但是由于技术方面的问题，我们不能总是去调整机械手，所以我们将问题转向方便调整的石墨舟及上料小车上。

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

石墨舟的HF清洗步骤详细讲解

一般舟在运行100至150次后就应该进行清洗，这是因为石墨舟上的SiN会随着运行次数的增加而增加，石墨舟厂家，影响石墨舟的正常使用。

在室温条件下(lt;40°C)，将石墨舟的部件放入HF浓度(5–20%)的腐蚀槽内进行腐蚀。z好的浓度是10%，腐蚀时间为4——6小时。低浓度条件下，腐蚀槽会被产生的SiN颗粒污染，因此需要进行定期的过滤维护。浓度高于10%会对操作人员造成***。所有部件应该被分开放入腐蚀槽内并且不可互相接触，这样HF酸就可以腐蚀到任何部位，这对于石墨连接块而言更为重要。

在2号纯水槽内将其用纯水漂洗4——6小时。

用PH-试纸检查流动的水是不是中性的，石墨舟加工，必须保证所有的蚀刻残渣(SiF4)都已经被洗掉，任何蚀刻残渣被带入炉管都可能引起沾污或者工艺问题。可以在石墨上看到白色的一层就是残渣，所有部件都必须分开放置这样可以避免酸液残留在其中。

在85°C条件下，将分离的舟各部件烘干24小时。

石墨像海绵一样可以蓄水并保持比较长的时间;在100°C以上烘干或者是在未干的状态下将其送入炉管会引起水的突然气化，这会使石墨po裂。将一个没有完全干燥的舟放入炉管还可能导致炉门边缘的侵蚀以及真空系统的过分沉积。

在提供的装配台上将舟装配好。检查有无损伤。

用CentroTherm提供的转矩扳手(0.6Nm)拧紧陶瓷螺丝，石墨螺丝比较易碎，因此必须用手小心拧紧。

石墨舟质软，黑***；有油腻感，可污染纸张。硬度为1～2，沿垂直方向随杂质的增加其硬度可增至3～5。比重为1．9～2．3。在隔绝氧气条件下，其熔点在3000℃以上，是***耐温的矿物之一。

深圳市石金科技股份有限公司成立于2004年，是一家石墨***厂家，主营：石墨材料、石墨热场、石墨毡、CC框、石墨舟、石墨转子、石墨制品、CC复合材料、石墨零件等产品，欢迎新老顾客前来咨询与合作。