ABL8000气浮平台
1专为有效负载大,负载***偏离机架中心线的应用设计
2十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性***
3所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4行程达1米
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6可集成包括花岗岩的XY子系统
行程≤1000mm
精度&plu***n;0.50um
重复***精度&plu***n;0.20um
直线度&plu***n;0.40um
平面度&plu***n;0.40um
更多技术内容及应用请联系Aerotech 销售经理 张巨鹏 18518556588
jupeng.zhang@