Aerotech气浮平台
ABL1000气浮平台
1专为高性能校准和装配应用设计
2分辨率达2nm的直线编码器反馈
3闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)
4全预加负载气浮导轨(空气轴承)
5低噪音线性放大器
6全部非接触设计
行程≤150mm
精度&plu***n;0.20um
重复***精度&plu***n;0.05um
直线度&plu***n;0.25um
平面度&plu***n;0.25um
更多技术内容及应用请联系Aerotech 销售经理 张巨鹏 18518556588
jupeng.zhang@
ABL3600气浮平台
1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计
2双轴,大孔,开放式结构
3非接触直线编码器反馈,精度高
4双直线电机驱动XY轴
5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程≤250mm
精度&plu***n;1um
重复***精度&plu***n;0.20um
直线度&plu***n;0.50um
平面度&plu***n;1um
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ABL8000气浮平台
1专为有效负载大,负载***偏离机架中心线的应用设计
2十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性***
3所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4行程达1米
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6可集成包括花岗岩的XY子系统
行程≤1000mm
精度&plu***n;0.50um
重复***精度&plu***n;0.20um
直线度&plu***n;0.40um
平面度&plu***n;0.40um
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ABL9000气浮平台
1世上***高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3行程达1.2米X1.2米
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
精度&plu***n;0.50um
重复***精度&plu***n;0.10um
直线度&plu***n;0.50um
平面度&plu***n;0.50um
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AHL9000直线电机平台
1专为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计
2扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承
3行程达1.2米X1.2米
4双直线电机驱动步进轴
5直线编码器或激光干涉仪反馈
行程≤350mm
精度&plu***n;1.0um
重复***精度&plu***n;0.20um
直线度&plu***n;0.60um
平面度&plu***n;0.60um
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ABG10000气浮平台
1气浮导轨实现超平滑运动
2所有轴都预加载荷
3下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动
3行程达1mx1m
4非接触直线编码器(光栅)
5可选Z轴,隔振,机械底座和控制箱
6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测．
Tr***el行程≤1000mm
Accuracy精度&plu***n;2.0um
Load负载84kg
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FiberCouple 130平台
1同一条导轨上两个运动平台
2***或并列运动
32.5nm分辨率
4非接触直线电机驱动
5交钥匙的配套驱动和控制系统
6适合辅助轴
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VascuLathe ACS/ASR
1.直线平台与旋转平台的高度集成化
2.ER筒夹系统使材料箝位自动化
3.可选夹紧装置夹紧管
4***的控制系统结构
5.单或双主轴结构
6.可选择湿切割
7.拥有两项专利PatentNo.7,038,334PatentNo.7,105,956
LaserTurn
1.直线平台与旋转平台的高度集成化
2.气动3爪卡盘或ER筒夹
3.较大的通孔可以使产品通过
4.可选择在前后加工的平台
5.直接驱动直线和旋转电机技术
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PlanarHD气浮平台
1***大2m/s扫描速度和5g加速度的输出
2***快的转向和***小的稳定时间
3主动偏转控制
4直线光栅或激光干涉仪反馈
5行程1.2mx1.2m
行程≤1200mm
精度&plu***n;300nm
重复***精度&plu***n;50nm
分辨率0.25nm
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APT 系列平转和倾斜组合转台
1满足安全，国防建设和监测***市场的需要
2把***的高精密机械与业界***的控制技术结合在一起
3惯性稳定
4包含内置滑环，可连续旋转360°
5高***精度和速度性能
6易于安装和系统集成的集成电路
7低维护，高可靠性提供***低的拥有成本
平转：***高速度180°/秒，持续360°
倾斜：***高速度180°/秒，范围为&plu***n;95°
位置分辨率：7.6弧秒
***精度：120弧秒
有效载荷：35公斤
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