PERC电池石墨舟厂家生产-PERC电池石墨舟-石金科技

石墨舟特点是，PERC电池石墨舟批发，包括如下步骤：

将21片石墨舟送进炉管；

抽真空，时间3600s；

通入氨气，温度控制在425℃，放电功率7200w，持续240秒；

抽真空，通入氮气7500sccm，时间20秒，再抽真空，重复两次后***；

抽真空，通入氨气7500sccm，温度控制在420-430℃，预沉积120秒，再通入guī烷，持续放电9000-10000秒；

停止通气，抽真空，PERC电池石墨舟，至压力达到35毫托时，通入氮气6000sccm，再抽真空，重复两次后***；

卸料即可。采用本发明的方法后，可以避免石墨舟饱和不充分，PERC电池石墨舟生产厂家，导致工艺过程中产生色差片的缺陷。

电极板间距的变化是比较关键的，一般来说，间距的变化对于Depo rate/U%以及Reflect影响很大，本身这种舟式多片结构对于reflect控制不是太好，无法做到每个电极板腔室的单独控制，PERC电池石墨舟厂家生产，也就会产生舟中间和头尾之间比较大的差异。

我们的PECVD工程师，建议不要改变电极间距（会影响等离子电场分布），原先我们也做过类似的变化，色差比较严重，现在基本是保证间距不变的基础上稍微增加几个电极板，效果还可以。

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

挤压石墨，多为电极材料。

（1）放电消耗更小；由于火花油中也含有C原子，在放电加工时，高温导致火花油中的C原子被分解出来，转而在石墨电极的表面形成保护膜，补偿了石墨电极的损耗。

（2）没有毛刺；铜电极在加工完成后，还需手工进行修整以去除毛刺，而石墨加工后没有毛刺，节约了大量成本，同时更容易实现自动化生产。