PECVD石墨舟厂家生产-PECVD石墨舟-东莞石金科技

石墨舟是正负间隔连接的，可以等效看成是多个电容器的并联，那么舟片正对面积和舟片间距的改变就会导致电容器容抗的变化，导致镀膜的场强变化。建议你增加压力，一般的效果是中间镀膜异常区域的面积会越来越小，然后适当改变气流比例(注意是气流比例，PECVD石墨舟批发，SIH4在特气中的比例较为重要)，同时适当等比例增加气流总量！为了能有效增加场强强度，功率也需要增加！

石墨舟异常情况处理和日常维护等

1，批次与批次之间不满舟如何？不满舟会有什么结果？

上一批不满一舟用下一批次填满，并分别记录区分开来。

不满舟进行工艺，没有硅片的舟片上会沉积SIN膜，石墨舟物理性质下降，会产生红片，PECVD石墨舟，色差片等。

2，一区二区流程卡如何对接，数量如何确认？

刻蚀通过传送箱流入的合格品，当场清点数量即可。

3，石墨舟工艺要求的清洗周期、刻蚀周期？预处理的方式有几种不同？预处理不合格返工片多如何处理？

石墨舟运行120-150次需刻蚀，刻蚀满6次需清洗

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

石墨加工合理的选择刀具的几何角度

石墨刀具选择合适的几何角度，PECVD石墨舟价格，有助于减少刀具的震动，石墨工件也不容易崩缺。

（1）前角，采用负前角加工石墨时，刀具刃口强度较好，耐冲击和摩擦的性能好，随着负前角*对值的减小，PECVD石墨舟厂家生产，后刀面磨损的面积变化不大，但总体是较少的趋势，采用正前角加工时，随着前角的增大，刀具刃口强度被削弱，反而导致后刀面磨损加剧。负前角加工时，切削阻力大，增加了切削震动，采用大正前角加工时，刀具磨损严重，震动也较大。