环形金刚石沙粒切割线-【元素线锯】-贵阳环形金刚石沙粒切割线

元素工具通过实验研究发现：工件进给速度对大理石表面粗糙度的影响较大，锯丝线速度对大理石表面粗糙度的影响次之，贵阳环形金刚石沙粒切割线，锯丝张紧力对大理石表面粗糙度的影响再次之。为了进一步确定锯切大理石表面粗糙度的适合工艺参数，根据正交试验结果分别做出了锯丝线速度、工件进给速度和锯丝张紧力对大理石表面粗糙度的影响

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目前国内的金刚石线锯设备发展虽然较快，但相对于国外设备依旧有着不小的差距。近年来我国把集成电路装配与成套工艺列入重大科技专项，国内企业不断创新研制出具有自主知识产权的金刚石线切割机。

我国生产线锯切割切割的单位主要有：北京微纳、无锡斯达新能源科技、福州天石源超硬材料工具、泰州市晨虹数控设备、中国有色桂林矿产地质研究院、郑州元素工具等公司。

我国晶圆芯片加工进入大规模发展的黄金时代，其上游的晶圆切割加工链中仍然为大量的金刚石带锯所占据。

目前晶圆直径正向更大方向发展，环形金刚石沙粒切割线，从原來的 8、10、12、15 英寸甚至到了 20 英寸，越大越适合环形金刚石沙粒切割线切割，如图 17，某晶圆芯片公司的 Φ350mm 晶圆在环形金刚石沙粒切割线立式机切片，海口环形金刚石沙粒切割线，效果十分满意，其工艺参数为:

线速度 38m / s，兰州环形金刚石沙粒切割线，进给速度 15 ～ 30mm / min，切割面精度 0．02 ～ 0．05μm，片厚 2 ～ 5mm。

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