PECVD石墨舟厂-PECVD石墨舟-东莞石金科技石墨制品

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

石墨舟的推送装置都是怎么使用的呢？它的卧式半导体设备都是怎么体现的呢？石墨舟带您看看下面的一些介绍与解释吧！一种用于卧式半导体设备的石墨舟推送装置，属于卧式半导体设备技术领域，包括炉门以及穿过炉门的连接杆，PECVD石墨舟，连接杆固定连接石墨舟支撑杆；其中，石墨舟支撑杆包括两根并列设置的碳化硅杆，碳化硅杆上设有至少两个用以支撑石墨舟的金属支撑架。

石墨舟特点是，包括如下步骤：

将21片石墨舟送进炉管；

抽真空，时间3600s；

通入氨气，温度控制在425℃，放电功率7200w，持续240秒；

抽真空，通入氮气7500sccm，时间20秒，再抽真空，重复两次后***；

抽真空，PECVD石墨舟厂，通入氨气7500sccm，温度控制在420-430℃，预沉积120秒，再通入guī烷，持续放电9000-10000秒；

停止通气，抽真空，至压力达到35毫托时，通入氮气6000sccm，再抽真空，重复两次后***；

卸料即可。采用本发明的方法后，可以避免石墨舟饱和不充分，PECVD石墨舟设计，导致工艺过程中产生色差片的缺陷。

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

挤压石墨，多为电极材料。

（1）加工速度更快：通常情况下，PECVD石墨舟厂家***，石墨舟的机械加工速度能比铜快2~5倍；而放电加工速度比铜快2~3倍；

材料更不容易变形：在薄筋电极的加工上优势明显；铜的软化点在1000度左右，容易因受热而产生变形；石墨的升华温度为3650度；热膨胀系数仅有铜的1/30。

（2）重量更轻：石墨的密度只有铜的1/5，大型电极进行放电加工时，能有效降低机床（EDM）的负担；更适合于在大型模具上的应用。