臭氧对微生物的杀灭作用受很多因素的影响，如温度、相对湿度、臭氧浓度、有机物、ph值等等。
臭氧的浓度越高，杀菌作用越强，同样作用5min，8lmg/m3的臭氧对白色***的杀灭率达到99.99%，而2lmg/m。杀灭率仅为95.06%。不同浓度，臭氧对水中hbsag的灭活效应间表19-3-2.随臭氧浓度的增加，同样时间对hbsag的杀灭率 也越高。用臭氧杀灭空气中的金******，当浓度为0.2lmg/l时，作用iomin，只杀灭90.81%当浓度为0.75mg/l时，同样时间能杀灭99.99%。
作用时间
随时间的延长，臭氧对微生物的杀灭率不断提高。
温度
一般***受温度影响较大，随温度的升高，杀灭微生物的作用不断***，臭氧的消毒效果受温度影响相对较小。若水温为4~6度时， 臭氧的杀菌为1；在18~21度为1.6；在36~38度时为3.2.我们的试验结果为rh为50%时，在8~12度时，臭氧对空气中枯草***核酸变种芽孢的杀灭率为88.7678%，18~20度时杀灭率91.2750%，27~32度时则为91.8881%，有显著差异
相对湿度的影响臭氧对微生物的杀灭作用受湿度的影响比其他***大，尤其在杀灭空气中微生物时，相对湿度越高，臭氧杀菌效果越明显。如把温度固定在20~22度，对空气中枯草***黑色变种芽孢的杀灭效果：rh在40%以下时杀灭率仅为杀灭率仅为31.9%，rh为70%~74%时，杀灭率达90.76%，而rh升高到90%以上时，杀菌效果明显增强，达99.96%。可见相对湿度对臭氧杀菌效果的影响较大。之所以在高湿下***易被臭氧杀灭，是因为高湿空气中我报吸收水分使胞膜膨胀变薄，易被臭氧杀灭。
