PECVD石墨舟厂家生产-石金科技(推荐商家)

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

石墨舟具有良好的热导性和耐高温性，PECVD石墨舟生产厂家，在高温使用过程中，热膨胀系数小，对急热、急冷具有一定抗应变性能。对酸，碱性溶液的抗腐蚀性较强，具有优 良的化学稳定性。在冶金、铸造、机械、化工等工业部门，被广泛用于合金工具钢的冶炼和有色金属及其合金的熔炼。并有着较好的技术经济效果。

石墨舟，因具有以上优良的性能，所以在冶金、铸造、机械、化工等工业部门，被广泛用于合金工具钢的冶炼和有色金属及其合金的熔炼。并有着较好的 技术经济效果。

石墨加工合理的选择刀具的几何角度

（1）后角，如果后角增大，则刀具刃口强度降低，后刀面磨损面积逐渐增大。刀具后角过大后，切削的震动加强。

（2）螺旋角，螺旋角较小时，同一切削刃上切入石墨工件的刃长*长，PECVD石墨舟，切削阻力*大，刀具承受的切削冲击力*大。因而刀具磨损，铣削力和切削振动都是*大。当螺旋角较大时。铣削合力的方向偏离工作表面的程度打，石墨材料因崩碎而造成的切削冲击加剧，因而刀具磨损、铣削力和切削振动也都有所增大。因此刀具角度变化对刀具磨损、铣削力和切削振动的影响是前角、后角及螺旋角综合产生的。所以选择方面一定要注意。

电极板间距的变化是比较关键的，PECVD石墨舟哪里有，一般来说，间距的变化对于Depo rate/U%以及Reflect影响很大，本身这种舟式多片结构对于reflect控制不是太好，PECVD石墨舟厂家生产，无法做到每个电极板腔室的单独控制，也就会产生舟中间和头尾之间比较大的差异。

我们的PECVD工程师，建议不要改变电极间距（会影响等离子电场分布），原先我们也做过类似的变化，色差比较严重，现在基本是保证间距不变的基础上稍微增加几个电极板，效果还可以。