金、银、铂、钯溅射靶材通过熔炼提纯、浇铸成锭,锻造轧制和精密机加工制造而成。纯度均可达到99.99%,主要应用于电子半导体、太阳能光伏、平面显示、磁学等行业。
钌、铑、铱溅射靶材采用高纯金属粉末为原料,通过粉末冶金铸锭,高校用 高纯铜靶,并精密机加工成靶,产品纯度可达99.95%。主要应用于电子半导体、磁学等行业。
常规靶材有:
高纯金 靶材 99.99%φ50.8mm, φ60mm, φ101.6mm
高纯银 靶材 99.99%φ50.8mm,高纯铜靶材 定制加工, φ60mm, φ101.6mm
高纯铂 靶材 99.99%φ50.8mm, φ60mm, φ101.6mm
高纯钯 靶材 99.99%φ50.8mm, φ60mm, φ101.6mm
高纯钌 靶材 99.95%φ50.8mm, φ60mm, φ101.6mm
高纯铑 靶材 99.95%φ50.8mm, φ60mm, φ101.6mm
高纯铱 靶材 99.95%φ50.8mm, φ60mm, φ101.6mm
常规厚度1-6mm
可定制加工的圆靶方靶,可提供靶材绑定服务。
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