石金科技(图)-PECVD石墨舟批发-PECVD石墨舟

深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电极和相关的石墨制品，太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。

石墨舟加工车间的防尘与除尘

吸尘管道应统一规划， 布局合理。如车间内的吸尘管道的架设，PECVD石墨舟哪家好， 要考虑到加工工艺特点， 与生产协调一致， 尽量不影响工艺操作。

机床、车间应定期清洁。定期将机器中累积的深圳石墨舟粉尘集中清理，珠海PECVD石墨舟， 做好机床工作台、防尘盖的清洁工作， 防止二次污染。

石墨舟是正负间隔连接的，可以等效看成是多个电容器的并联，PECVD石墨舟批发，那么舟片正对面积和舟片间距的改变就会导致电容器容抗的变化，导致镀膜的场强变化。建议你增加压力，一般的效果是中间镀膜异常区域的面积会越来越小，然后适当改变气流比例(注意是气流比例，SIH4在特气中的比例较为重要)，同时适当等比例增加气流总量！为了能有效增加场强强度，PECVD石墨舟哪家便宜，功率也需要增加！

电极板间距的变化是比较关键的，一般来说，间距的变化对于Depo rate/U%以及Reflect影响很大，本身这种舟式多片结构对于reflect控制不是太好，无法做到每个电极板腔室的单独控制，也就会产生舟中间和头尾之间比较大的差异。

我们的PECVD工程师，建议不要改变电极间距（会影响等离子电场分布），原先我们也做过类似的变化，色差比较严重，现在基本是保证间距不变的基础上稍微增加几个电极板，效果还可以。