无尘室工程操作时的一般规定：
芯片必须放置盒中，盖起来存放于规***置，尽可能不让它暴露。避免在芯片上谈话，以防止唾液溅于芯片上，在芯片进扩散炉前，请特别注意，防止上述动作产生，若芯片上沾有纤维屑时，用氮气1枪喷之。从铁弗龙（Teflon）晶舟，石英舟（QuartzBoat）等载具（Carrier）上，取出芯片时，必须垂直向上挟起，避免刮伤芯片，显微镜镜头确已离芯片，方可从吸座上移走芯片。芯片上，若已长上氧化层，在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。
无尘车间工程验收应符合以下规范：
1、无尘车间的各种管道、自动灭火装置及空气净化设备的安装是否正确、牢固、严密。
2、高、中、初效过滤器与支撑框架的连接以及风管与设备的连接处是否可靠密封。
3、各类调节装置是否严密、灵活、方便操作。
4、无尘车间的各种空气净化设备、静压箱、通风系统等要清洗，无尘车间生产，保持洁净，确保无尘。
5、无尘车间的内墙壁、顶棚表面、地面是否光滑、平整，色泽是否均匀、不起灰，地板要防静电等。
无尘室提高整体性能的方式
1.无尘室必须维持于正压状态，安徽无尘车间，且保证无尘室工程洁净区应与非洁净区高于10pa。
2.无尘室工程净化空调系统应连续运行，且定期进行清洁维持工作。
3.无尘室工程洁净区内的温湿度应做好控制与维持工作，必须根据企业的实际生产需要来设置，千级无尘车间，一般情况下温度为22～25摄氏度，食品无尘车间，湿度为40%～60%。
4.层流无尘室的缓冲区域应设有明显的标识，各洁净区的门必须保证关闭状态，且进出门不可同时打开。
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