合肥半导体清洗超纯水设备,光学机器清洗高纯水设备
超纯水设备功能说明
1、在线检测并显示超纯水电阻率(MΩ/cm)。
2、产品小型集成化、模块化、快接式内部设计,方便安装维护,占地面积小,外形美观。
3、选用进口静音泵,系统运行时无震动、无噪音、无电磁辐射,对工作环境无影响。
4、美国高容量树脂深度抛光纯化处理技术,提高离子交换系统的总交换量,延长耗材寿命。
5、数字化液晶水质显示,全自动化制水,停水或水压不够,系统自动断电保护同时视听报警,多重安全保护。
6、动态化指示:电源指示,系统自检指示,泵浦启动指示,RO自动冲洗指示,缺水保护指示,缺水报警指示,纯水备用指示。
7、全自动化无人值守设计:缺水停水时系统自动停机保护,水压***正常时系统自动***制水状态,纯水备用时系统自动停机,当取用一定纯水时系统自动***制水状态。
8、微电脑智能控制系统,RO膜自动程序及完善的自动清洗消毒程序。
超纯水执行标准
本标准采用下列定义.
3.1电子级水electronic grade water
制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水.
3.2电阻率resistivity
在规定温度下,1 cm2水溶液两相对面之间测得的电阻值.通常用符号P表示,单位为Ω﹒cm,纯水的理论电阻率为18.3 MΩ﹒cm (25℃).
3.3全硅total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量.
3.4可溶性硅soluble silicon
以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐.
3.5微粒性物质granular matter
除气体以外,以非液态分散在水中,并形成非均相混合物的物质.
3.6总有机碳(TOC) total organic carbon
水中以各种有机物形式存在的碳的总量.包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。
3.7吸附absorption
某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的能力。
3.8凝聚coagulation
在源水中加入某种电解质后,水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和,从而使其聚集成较大颗粒而沉降的现象。
3.9絮凝flocculation
水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象。絮凝一般是在凝聚作用后缓慢进行,可除去水中更细的微粒。
3.10砂滤器sand filter
用于盛放不同直径的砂粒,以除去源水中悬浮固体和混浊物的装置。
3.11 活性碳过滤器activated carbon filter
装有粒状活性碳的过滤器,用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余氯。
3.12离子交换ion exchange
一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程,该过程中物质并无实质性结构变化.