扩散和离子注入过程Fe原子的占位和情况分析了这一现象的机理和产生原因. 包括双金属复合耐磨管团状结构位错的产生及其对晶格完整性的影响,坑状缺陷、晶片抛光损伤和残留杂质的清洗腐蚀等.对双金属复合耐磨管缺陷的形成原因和***途径进行了分析.在此基础上获得了“开盒即用(EPI-READY)”、具有良好晶格完整性、表面无损伤的InP单晶衬底抛光片.高温退火后掺铁半绝缘(SI)InP单晶转变为n型低阻材料.利用霍尔效应(Hall),热激电流谱(TSC)。






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