【科晶化工】厂家今天来为各位介绍一下高纯度二氧化碳气体管路的设计要点:
1根据高纯度二氧化碳用气设备的分布情况,高纯度二氧化碳气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
2对高纯度二氧化碳气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
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高纯度二氧化碳配管及管道、附件材料
【科晶化工】厂家今天来为各位介绍一下高纯度二氧化碳配管及管道、附件材料:
高纯度二氧化碳气体管道输送管道,要根据工艺过程对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要求不同,采用相应质量的管材 。 比如半导体产业因其生产工艺复杂 、加工精细 ,它不仅要求有洁净的生产环境 , 而且对生产过程中所需的各种高纯气体有特定的、严格的要求。
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