检漏仪的优点
1、多种语言和计量单位选择，可选中文界面。
2、135o 电离偏转 (自然聚焦点)的全新质谱技术，金属密封结构。
3、新的电子线路及信号处理设计。
4、小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程。
5、快速清氦和快速响应。
6、测试口耐压高，可实现大漏检漏。
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氦质谱检漏仪的基本原理与结构
随着科技的迅猛发展，氦质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的氦质谱检涮仪，广泛应用丁航空航天，电力电子，汽车等各个行业，综观较新氦质谱检漏仪的性能特点发现，氦质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽***程、等***方向发展，这些特点很好地满足了当前检漏应用的需求，也极大的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。氦质谱检漏仪的基本原理与结构氦质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入质***分析器，
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质***分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主流的产品。
机械泵的工作方式不一样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
氦质谱检漏仪的校准方法
氦质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标，通过实验，冷凝器氦检漏设备报价，总结通过氦质谱检漏仪对其漏率校准的方法。
氦质谱检漏仪原理:
氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离，根据不
氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。
氦质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔，可将标准漏孔拆卸进行校准，如果不能单独校准标准漏孔，就可考虑直接通过氦质谱检漏仪进行漏率部分的校准，本文主要讨论这种情况下氦漏率的校准方法。
氦质谱检漏仪漏率的校准方法
一、环境条件
校准环境温度为(23 ± 5) ℃ ，校准过程中室温变化不超过± 1℃ ，环境相对湿度不大于80% 。
校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰。
环境温度控制在23℃ 附近，因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃ 。
二、标准器的选择
标准器 采 用 渗 氦 型 标 准 漏 孔，漏 率 标 称 值 在( 10 - 6 ～ 10 - 10 ) Pa·m3 /s，不确定度不大于 10% 。
精密玻璃温度计，测量范围(0 ～ 50) ℃ ，不确定度 U = 0. 04℃ ，k = 2。
三、校准方法
(1) 漏率校准
① 校准系统的组成
校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的氦质谱检漏仪组成。
②示值误差
通电预热，待氦质谱检漏仪启动完成后，采用标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准，将一经过校准的标准漏孔接入氦质谱检漏仪系统，运行氦质谱检漏仪，待漏率示值稳定后，冷凝器氦检漏设备，可以读出标准漏孔漏率的氦质谱检漏仪示值，同一标准漏孔测量三次，计算氦质谱检漏仪示值平均值，从而得到标准漏孔漏率与氦质谱检漏仪示值平均值的示值误差。
如果测试结果有较大编差，可以考虑氦质谱检漏仪的自校功能，待完成后，再用标准漏孔进行测试。
③ 重复性
测量重复性是用实验标准偏差表征的，本校准方法采用极差法来表征重复性。在示值误差测量中，每一标准漏孔用氦质谱检漏仪重复测量三次，可用公式计算氦质谱检漏仪在该漏率下的重复性。
氦质谱检漏仪测量数据处理
(1) 漏率示值误差
①漏率的温度修正
标准漏孔漏率易受温度变化影响，温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃ ，所以如果实际环境温度和标准漏孔证书中温度不一致，需要将标准漏孔证书中漏率和标准漏孔漏率的氦质谱检漏仪示值修正至同一环境温度下来计算，并在测试结果中加以说明，修正方法如下:
方法一: 将标准漏孔证书中的漏率修正至实际环境温度下，用标准漏孔证书中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值；
方法二: 将标准漏孔漏率的氦质谱检漏仪示值平均值修正至标准漏孔证书中环境温度下，冷凝器氦检漏设备厂家，用标准漏孔漏率的氦质谱检漏仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。
②漏率示值误差计算公式:
式中: Qx —标准漏孔漏率值( Pa·m3/s) ；
Qb —氦质谱检漏仪漏率示值平均值( Pa·m3/s) ；
ΔQ—氦质谱检漏仪漏率示值误差( % ) 。
(2) 漏率重复性计算公式
S = Qmax - Qmin
式中: S—漏率重复性 ( % )；
Qmax —氦质谱检漏仪示值漏率较大值( Pa·m3 /s)；
Qmin —氦质谱检漏仪示值漏率较小值( Pa·m3 /s)；
C—极差系数，测量次数 n 为 3 时，C = 1.64；
Qx —标准漏孔漏率( Pa·m3 /s) 。
氦质谱检漏仪测试结果
采用漏率分别为 1.53 × 10Pa·m3 /s、1.89 × 10Pa·m3 /s、6.58 × 10Pa·m3 /s 三只标准漏孔对一台氦质谱检漏仪漏率部分按照上述校准方法进行测试，温度修正后测试数据见表 1。
从测试结果分析，使用标准漏孔通过氦质谱检漏仪直接对其漏率部分进行校准是可行的，数据是可靠的。
结论
此方法对氦质谱检漏仪漏率部分进行校准，方法简单明了，便于实际应用，可操作性强，可以满足氦质谱检漏仪漏率性能和使用要求，保证了氦质谱检漏仪漏率量值准确可靠。
今天小编和大家分享的是氦质谱检漏仪的校准方法，如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询！科仪创新竭诚为您服务！
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