激光干涉仪阿贝偏置误差的影响
1.影响因素
若激光光束调整得与指1定的坐标轴为平行偏置时，在这种情况下进行测量，光学元件偏置安装引起的角度运动会导致阿贝偏置测量误差。该误差与LΦ成正比，其中，激光干涉仪，L为偏置距离，Φ为偏置角度。如Φ为0.0028°、L为100mm，所引起的阿贝偏置误差为5μm。
2.减少及消除的方法
由于恒定角度不会导致阿贝误差，所以，激光干涉仪报价，在测量时应固紧好移动光学镜以减少偏置角度的变化；尽量使测量轴线靠近机器光栅尺轴线以减少偏置位置距离。
激光干涉仪的开发，给机床工业提供了高精度的标准，适用于各种型号和规格的机床。
使用激光干涉仪测量，双频激光干涉仪测量，必须要考虑到的误差源：
死径误差（死行程误差）。它是一种在测量期间与环境条件的变化有关系的误差。它是由于当围绕激光束的大气压力发生变化（引起激光波长变化）时以及当固定有激光干涉仪和目标反射镜的材料温度发生变化（引起干涉仪和反射镜之间的距离变化）时，激光束行程长度得不到补偿而造成。
简单的讲，激光测量行程的死行程区是指激光干涉仪与测量复位点（或0点）位置间的距离。激光干涉仪自身的补偿系统仅能补偿测量复位点到测量行程终点的距离，而对于死行程区的距离是不补偿的。
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