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洁净厂房位置选择和总平面布置

　　第1.条对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。

　　第2.条洁净厂房***为大的频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。第3.1.4条洁洁厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。

如何使洁净室更节能在洁净室中有许多节能的地方，如供暖，通风和空调（HVAC），过程冷却，压缩空气和一些其他设施。 HVAC系统消耗的电量超过整个晶圆制造设施的一半。大量浪费的电力和HVAC容量过剩的原因主要是由于设备的设计和建造的捷径，尽可能地压缩初始***，***净化工程，而不管后期的运营成本。***的设计和***的设备需要大量的前期***。所谓的快捷方式和“节省大量废物的小地方”的成本降低将导致工厂性能降低和能源消耗增加。

振动控制

　　洁净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动的设备(包括水泵等)及其通往洁净室的管道，应采取积极隔振措施。

　　对洁净厂房内外各类振源，***净化工程安装哪家好，应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件限制，也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精仪器仪表的允许环境振动值进行比较，***净化工程安装，以确定对其采取必要的隔振措施。

　　精密设备、精密仪器仪表的隔振措施，***净化工程厂，应考虑减少发生量、保持洁净室内合理的气流***等要求。当采用空气1弹簧隔振台座时，应地气源进行处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级。