





净化间的光学微电子
光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、***空气、***等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生***学、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于地位。
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净化间的检查
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●净化车间外观检查应符合:各种空气净化设备、静压箱要清洗干净,确保无尘;各种调节装置应严密、灵活、操作方便;各种管道、自动灭火装置及空气净化设备的安装应正确、严密、牢固;初、中、***空气过滤器与支撑框架的连接以及风管与设备的连接处应可靠封闭;净化车间内的各种刷涂、保温工程等应符合有关规定;净化车间的内墙壁、顶棚表面、地面应平整、光滑、不起灰尘、色泽均匀等;送、回风口及各类末端装置、管道、动力线配管、照明等穿越净化车间时,穿越处的密封处理应严密可靠。
净化间的洁净管道
洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,空气净化间生产厂家,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为***适宜使用。***、食品业界及半导体业界均适用。(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用***之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
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