山武CMS是一种气体质量流量计，使用了山武公司研发的微流量传感器μF单元。这一传感器是一个芯片型感热式质量流量传感器，直接安装于流体管路中，可以测量低流速的流体流量，使CMS具有100:1的测量比。微流量传感器芯片与***的流体管路设计的结合，使该仪表测量精度高、量程比大，且成本低。
特点：
1：由于采用直接质量流量测量，因此实现了不受温度、压力变动影响的准确测量；
2：实现了&plu***n;2%RD的精度，0.5%FS的重复性、100:1的高量程能力；
3：CMS具有瞬时、累计流量显示、模拟输出、累计脉冲输出、事件输出2点、模拟输出定标功能以及RS-485通信功能；
4：采用山武公司的管内壁测量方式，实现了500PA（CMS200一次压力49KPA）的低压力损失。
AZBIL流量计200L/min型号：CMS0200BSRN21010C
CMS0200BSRS21010C CMS0200BTSE21010C CMS0200BTSH21010C
CMS0200BTSN21010C CMS0200BTSS21010C CMS0200BTTE21010C
CMS0200BTTH21010C CMS0200BTTN21010C CMS0200BTTS21010C
CMS0200BTUE21010C CMS0200BTUH21010C CMS0200BTUN21010C
CMS0200BTUS21010C CMS0200BTVE21010C CMS0200BTVH21010C
CMS0200BTVN21010C CMS0200BTVS21010C CMS0200RSRN21010C
CMS0200RSRS20010C CMS0200RTSE21010C CMS0200RTSH21010C
CMS0200RTSN21010C CMS0200RTSS21010C CMS0200RTTE21010C
CMS0200RTTH21010C CMS0200RTTN21010C CMS0200RTTS21010C
CMS0200RTUE21010C CMS0200RTUH21010C CMS0200RTUN21010C
CMS0200RTUS21010C CMS0200RTVE21010C CMS0200RTVH21010C
CMS0200RTVN21010C CMS0200RTVS21010C CMS0500BSRN21010C