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涡轮分子泵的结构与工作原理

涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速qi、可控热核反应装置、重粒子加速qi以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。

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旋片真空泵的清洗工艺

为了防止系统中任何容易大量放气的物质并去除高蒸气压的物质，英国edwa***爱德华，必须进行彻底的处理。不同的真空元件和不同的材料都有自己特殊的清洁方法，常见的真空部件清洁方法如下。

旋片真空泵的清洗

为了清洁旋片真空泵而没有明显的故障，泵一般不拆卸，只有旧油和污垢从排油孔排出，新的真空泵油（用于清洗）从带漏斗的进气口。手动缓慢旋转泵轮数次后，释放油。通过重复相同的方法一次或两次，新油可以正式使用。没有必要清洁新的旋片真空泵，美国爱德华edwa***，但有必要检查管道入口是否干净，没有***，并擦去表面腻子。

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优点：

大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。

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