
PR1-1000A1光刻胶光刻胶
5,显影液
在已经***的硅衬底胶面喷淋显影液,或将其浸泡在显影液中,光刻胶 显影,正胶是***区、而负胶是非***区的胶膜溶入显影液,胶膜中的潜影显现出来,形成三维图像。
显影完成后通常进行工艺线的显影检验,通常是在显微镜下观察显影效果,显影是否彻底、光刻胶图形是否完好。
影响显影的效果主要因素:
1,***时间,光刻胶,2前烘温度和时间,光刻胶 负胶,3光刻胶膜厚,4显影液浓度温度,5显影液的搅动情况。
光刻胶稳定性
化学稳定性:在正常储存和操作条件下,光刻胶 刻蚀,在密闭容器中室温稳定。
避免的条件: 火源、湿气、过热的环境。
不相容的其他材料: 强氧化剂。
光刻胶毒理资料
淡***液体,气味微弱。引起皮肤、眼睛、粘膜和呼吸道的刺激。可以通过皮肤吸收而引起全身性的症状。液体是可燃的。
毒性数据
皮肤:可以通过皮肤吸收而引起全身性的症状,类似于吸入。长时间或重复接触可引起轻度至中度的刺激或皮炎。
眼睛:引起眼睛发炎。
吸入:吸入时可能***。引起呼吸道刺激。蒸气可能导致困倦和头晕。
摄食:吞食***。
延迟效应:肝和肾损害,以及动物实验中有报道血液和GU髓有影响。
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