氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪离子源的作用是使气体分子电离，山东正压氦所质谱检漏仪，形成一束具有一定能量的离子。它由灯丝(阴级)、离化室及离子加速极组成。
灯丝在真空中通电加热后发射电子，在离化室与灯丝之间的电场作用下，电子加速穿过离化室顶部狭缝进入离化室，在离化室中与气体分子发生多次碰撞后损失能量，Z后打到离化室上形成电子流，成为发射电流的一部分。电子在运动的过程中碰撞气体分子而使气体分子电离形成正离子，正离子在离化室与加速极之间的电压U(即离子加速电原)作用下，相继穿过离化室正面的矩形狭缝和加速极的矩形狭缝，由于加速电场对离子做的功转变为离子的动能，便形成具有一定能量的离子束。
氦质谱检漏仪的真空系统
氦质谱检漏仪的真空系统提供质谱室正常工作所需要的真空条件，正压氦所质谱检漏仪品牌，不同型号的氦质谱检漏仪其真空系统有较大的差别。
1、检漏阀：接在质谱室和被检件之间的管道上。有些氦质谱检漏仪采用节流阀，控制流入质谱室的气体流量。
2、真空规：一般采用冷阴极磁控放电直空规(潘宁规，又称冷规)来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。
3、标准漏孔：一般氦质谱检漏仪内都附有标准漏孔(大多为薄膜渗氦型)，正压氦所质谱检漏仪哪家好，用它来校准氦质谱检漏仪的Z小可检漏率和对氦质谱检漏仪输出指示进行定标。
氦质谱检漏的原理
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，正压氦所质谱检漏仪厂家，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。
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