爱德华真空泵过滤器-精修进口泵-爱德华真空泵

涡旋真空泵的主要性能表征参数

5.1.1间隙大小

   间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和

装配精度进行控制的，也比较容易控制，在此不做过多的介绍。而径向间隙可以

由式((2.11)计算得到，即

                         e二，*R，-2* a * R.-R                  (5.1)

5.1.2抽气速率

   理论抽气速率Sth是由泵的几何尺寸、转速和是否是双侧涡旋共同决定的一

个反映抽气性能的参数，也叫几何抽速。假设转速为n(转/秒)，爱德华真空泵E2M175，并且该祸旋泵

为双侧涡旋，那么Sth可表达为下式:

                     S1，=2仇、+Vol卜(5.2)

   其中VII， Vo;分别为转子和定子所形成的外层完整内压缩腔和外层完整外压

缩腔的容积。、

   实际抽速是指泵实际排出气的速率。由于涡旋无油泵存在着轴向和径向泄

漏，其实际抽速S要低于理论抽速Sth，设P:为吸入口压力，P:为排气口压力，

Q。为总泄漏，则〔10)

                                 S*PL=Sw*P，司t

则实际抽速为

       g

J=J"*一下了

         r，

(5.3)

5.1.3极限压力

   涡旋式无油真空泵的极限压力是指不进入气体长期运转，在测试罩内所能达

到的稳定时的低压力，用P。表示。此时泵的实际抽速S=O，令式((5.3)中的实际

抽速S=O，即可得极限压力〔10)

(5.4)

半导体加工我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。

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多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型***提供 可靠性。

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电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。

我们的产品解决方案

您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。

真空泵转子与静止件轴向摩擦的振动机理

  理论研究和试验表明，爱德华真空泵，转子与精致件发生轴向摩擦时，真空泵转子的振动特征几乎与正常状况一致，没有明显的异常特征，所以诊断轴向摩擦时，不能用波形、轴心轨迹和频谱方法去识别，必须寻求新的铭感参数。

  真空泵轴向干摩擦力与旋转速度有关，爱德华真空泵过滤器，由于轴向干摩擦的作用使基频影响相对下降，同时有高频成分出现，所以轴向干摩擦具有阻尼的特性。轴向干摩擦力的打小正比于转子与静止间的干摩擦因数和轴向力。轴向干摩擦阻尼远大于径向摩擦

阻尼，由于轴向干摩擦会引起系统阻尼的显著增加，因此系统阻尼的变化可作为轴向摩擦的识别特征。

  另外，摩擦会造成成功耗上升和效率下降，同时局部会有温升，因此工艺参数对转子与静止件轴向摩擦的故障诊断非常重要