真空热处理是负压气氛下的热处理，其加热过程称为真空加热。这个过程要维持的气压状态（工作压力或工作真空度一般在10010-3Pa左右。根据气体分析，真空炉在此压力下的残余气体，如水蒸气、氧气、二氧化碳、油脂等有机蒸气含量很小，石排高速钢真空热处理，不足以使处理后的金属材料产生氧化、脱碳、渗碳等。真空加热时，由于大气中的氧分压低于被加热金属表面氧化物的分解压力，氧化受到***，因此处理后的金属表面亮度与原始表面相比可以在很大程度上保持不变。可见，真空不仅能保护工件不受热，还能保持金属原有的光亮表面，所以真空热处理也属于光亮热处理范畴。
“四把火”随着加热温度和冷却方式的不同，又演变出不同的热处理工艺。为了获得一定的强度和韧性，高速钢真空热处理，把淬火和高温回火结合起来的工艺，称为调质。某些合金淬火形成过饱和固溶体后，桥头高速钢真空热处理，将其置于室温或稍高的适当温度下保持较长时间，以提高合金的硬度、强度或电性磁性等。这样的热处理工艺称为时效处理。
把压力加工形变与热处理有效而紧密地结合起来进行，使工件获得很好的强度、韧性配合的方法称为形变热处理；在负压气氛或真空中进行的热处理称为真空热处理，它不仅能使工件不氧化，不脱碳，保持处理后工件表面光洁，提高工件的性能，还可以通入渗剂进行化学热处理。
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