




选择氦质谱检漏仪检漏方法的原则
1、主要根据被检漏设备的允许漏率为依据,由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合体现。为找到一个单个漏孔,所选择检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1-2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11w,而必须选用的氦质谱检漏仪灵敏度为10-12∽10-13W。
2、根据具体被检对象,所用方法简便易行,经济实用。

背压法氦质谱检漏的优缺点
背压法的优点是检测灵敏度高,能实现小型密封容器产品的泄漏检测,可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏,否则由于密封腔体容积太大,导致加压时间太长。此外,每个测量漏率都对应两个等效标准漏率,正压氦气质谱检漏仪生产厂家,在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检,排除大漏的可能。
背压法的检漏标准主要有QJ3212-2005《氦质谱背压检漏方法》、GJB360A-1996《电子及电气元件试验方法方法112 密封试验》,主要应用于各种电子元器件产品检漏。

氦质谱检漏仪的日常***与维护
1 内部的泄漏
当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷氦法寻找漏点,更换密封件。
2 本底信号不稳定
1)本底信号过高有可能是环境本底被污染,注意检查室内是否有氦气源在泄漏。将室内的门窗打开通风,降低环境本底。
2)本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时,质谱室极易被污染,需返厂进行清洗,本底信号不稳定,检查电源电压是否稳定,正压氦气质谱检漏仪生产厂家,检漏仪尽量应有可靠的接地。
3)本底信号不稳定,检查泵油是否浑浊,正压氦气质谱检漏仪生产厂家,被污染。
3 设备的分子泵不启动
分子泵不启动,主要有检查供电和前级真空是否正常(较常见的是前级真空机械泵故障或没有打开造成的分子泵无法启动)。或者是分子泵本身因振动和粉尘污染造成的损坏。
4 设备的质谱室不能正常工作
质谱室主要是灯丝无法正常加电,在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后,若灯丝仍无法发射离子流,氦气质谱检漏仪生产厂家,则需要更换离子源。
5 前级机械泵工作不正常
主要经常观察泵油的颜色是否正常,粉尘的污染会使油色变黑,水汽会使油色呈现乳白色,都将导致机械泵工作不正常。另外过低的温度会使机械泵油粘稠度增加无法启动,过高的温度也会使机械泵产生热保停止工作,使用机械泵的环境温度尽量在+10至+40之间使用。

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