过回火，真空热处理质量好，这是由回火温度设置过高、控温系统故障误差或炉温过高时入炉造成，应当修正工艺温度，检修校核控温系统，不高于设置炉温装入。
脱碳，这是由原材料残留脱碳层或淬火加热时造成，预防措施为可控气氛加热，东坑真空热处理质量好，盐浴加热，真空炉、箱式炉采用装箱保护或使用防氧化涂料：机加工余量加大2~3mm。
冷却不当，横沥真空热处理质量好，原因是预冷时间过长，冷却介质选择不当，淬火介质温度渐高而冷却性能下降，搅拌不良或出槽温度过高等，措施：出炉、入槽等要快；掌握淬火介质冷却特性；油温60-80℃ ，水温30℃C以下，当淬火量大而使冷却介质升温时，应添加冷却淬火介质或改用其它冷却槽冷却；加强冷却剂的搅拌；在Ms+50℃时取出。
零件的抗蚀性与抗高温氧化性：表面热处理可提高零件抗大气腐蚀性能；钢件渗铝、渗铬、渗硅后，与氧或腐蚀介质作用形成致密、稳定的Al2O3、Cr2O3、SiO2保护膜，提高抗蚀性及高温扛氧化性。
钢件硬化的同时会带来脆化。用表面热处理方法提高表面硬度时，仍能保持心部处于较好的韧性状态，是我们在进行使用时能够强化本身的硬度，同时又为我们生产中带来良好的发展。
一般来说，被处理的工件在炉内加热缓慢，内热温差较小，热应力小，因而变形小。产品合格率高。可降低成本，茶山真空热处理质量好，有除气作用，从而提高了工作的机械性能和使用寿命。
工作环境好，操作安全，没有污染和公害。被处理的工件没有氢脆***，对钛材和难熔金属壳防止表面氢脆，深圳真空热处理工艺的稳定性和重复性好。这一系列的优点，开发深圳真空热处理设备和工艺被越来越重视和应用越来越广。
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