莱宝罗茨泵维修-明胜机电-莱宝罗茨泵维修WAU1001

关于真空泵漏气检测方法

   真空泵在使用过程中如发现有漏气情况首先应当辨别是:真空泵漏还是管道漏。

   1、检测真空泵的方法：将真空泵与其管道分离，用真空计直接测量真空泵进气口，如果泵真空度达到使用标准就排除了泵漏气的可能；

   2、检测管道的方法：把管道或管道某一段取下，将其中一头接在不漏气的泵上，另一头用真空计测量，通过这个方法检测能够分清漏气点。

真空泵油对真空泵的影响

  对于真空泵油的高度，即泵的循环油量。旋片泵的循环油量也大，莱宝罗茨泵维修WAU1001，密封效果就越好，极限压力就越低:但是，由于在真空泵的运转过程中，旋片泵的真空泵油中吸收的空气和水蒸气会释放出来影响其极限压力，所以循环油量并非越大越好，应有一个合适的值。

 油液循环量与旋片泵极限压力的关系

  其中，理想状态下(油液不释放空气和水燕气)循环油量与极限压力的关系，莱宝罗茨泵维修，即真空泵油越大极限压力越低:FG为实际情况(主要考虑空气和水蒸气的释放)下真空泵油和极限压力的关系，随着循环油量的增加而越来越高:FN.-To为综合考虑两点因素的影响时两者的关系图，在油量处于某一特定值时，极限压力低，其后随着油量的增加而升高。

   随着真空泵油的升高，油液的饱和蒸汽压也随之升高，莱宝罗茨泵维修WSU2001，挥发的气态油液也多，大大升高旋片泵的极限压力，所以应该尽可能的降低油液的温度以降低旋片泵的极限压力。目前采用的方法主要包括对泵油实施水冷或风冷、增大散热片等。

***空间对真空泵极限压力的影晌

   ***空间的存在也会升高旋片式真空泵的极限压力.***空间是指旋片式真空泵的转子与定子在定子内腔顶端的接触点a到排气口之间的空间，如图2.9。这个空间内的气体在循环终结时，难以从排气口派出.在旋片继续旋转的压缩作用下，会从a点接触点的间隙溢出，从顶点溢出的气体进入吸气腔，从而升高旋片式真空泵的极限压力.可以通过对***空间填充油液或者在该空间的侧板上开导气槽(在自润滑的干式泵中采用)

来解决。

近年来， 受半导体制造、液晶注入、太阳能电池生产、电子器件等新兴行业和薄膜制备、化工、制药等传统行业的带动， 多级罗茨干泵作为装备之一， 其研制和生产越来越受到重视。多级罗茨干泵满足了IC 装备制造业的工作温度高、长期运转稳定、噪声低、维护简单、清洁无油等众多要求，莱宝罗茨泵维修WAU2001， 是很有发展前景的一种干式真空泵。但是， 除了加工及装配要求精度高、加工难度大、一次性投入昂贵等制约因素外， 其设计理论和制造工艺亟待提高， 尤其包括罗茨型线的改善、加工成本的降低、间隙的确定、泄漏量的计算、泵内的热力学分析、转子表面涂层、噪声振动等难点问题， 制约了多级罗茨干泵研制和生产。