氦质谱检漏仪
检漏灵敏度高，可以检漏到10-11Pam3/s 数量级，仪器响应快，氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用，例如，在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、、飞机等这些都要用到真空检漏技术。在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题，同样在装备中也离不开检漏，弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、、特殊部件的密封性都要用到氦质谱检漏仪，本文主要真对氦质谱检漏仪原理及方法进行综述。
氦检漏设备
氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声，目前设备电子线路和电子元件的改进，使得电路噪声已经降得很低，密封焊接件氦检漏仪器生产厂家，因此氦质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的，主要形成的原因包括：
一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。
二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气，而电离规，密封焊接件氦检漏仪器报价，特别是磁放电真空规对氦有记忆效应，其表面污染时就更为严重。
三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。
四、检漏仪中空气的本底影响。
五、残余气体分子对离子的散射作用。
六、灯丝和其他电极受机械振动引起的效应。
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真空箱式氦检漏系统
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机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.1真空箱单元
真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。
真空箱：采用不锈钢材质制造，密封焊接件氦检漏仪器公司，其内表面在加工后经抛光和清洗处理，保证了良好的本底和ji少的藏气，提高了真空箱的抽空效率。
1.2 充氦气回收单元
充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。
1.3 检漏单元
真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元，氦质谱检漏仪采用进口产品，自动校准漏孔。技术成熟，性能稳定，安装维护方便，使其和真空箱连接更加协调紧密。
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