真空设备检漏
氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪，通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪，是只检测氦的质谱仪，这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作，需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。
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氦质谱检漏仪：
1、氦气的质量轻，电力铸铝件真空箱氦检漏设备，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。
2、氦离子质荷比小，电力铸件真空箱氦检漏设备，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，氦检漏设备，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中氦离子通过的各个缝隙，从而提高氦离子的传输率。
3、氦在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中氦气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。
氢气的检测仪的选型
固定式氢气检测仪可以24小时在线检测，安装方便，可以连接内网以及第三方平台实时传输。可以储存10万条数据，由气体检测报和固定式可燃检测仪传感器组成，气体检测报警控制器可放置于值班室内，主要对各监测点进行控制，气体浓度越高，电信号越强，空调蒸发器真空箱氦检漏设备，当气体浓度达到或超过报警控制器设置的报警点时，报警器发出报警信号，并可启动电磁阀、排气扇等外联设备，自动排除隐患。
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