




石英加速度传感器是用挠性支承技术称为:石英挠性加速度传感器。6轴加速度传感器目前在民用、的多个领域得到广泛应用,石英挠性加速度计是摆式加速度计的一种,由于这种表面选用挠性支承技术所以称为石英挠性加速度计,且其结构与工艺大大简化,这种石英挠性加速度计已广泛运用于各类现代惯性系统中。石英挠性加速度传感器为单轴力矩反馈式加速度计,通过检测质量来检测外界的加速度信号,再经伺服电路解调、放大,在输出电流信号正比于加速度信号。石英挠性加速度传感器的性能指标测量精度高 重复性佳、可靠性高体积小、重量轻宽压供电功耗低 。
6轴加速度传感器挠性的材料为温度性能好的石英玻璃,外形采用超声加工而成,6轴加速度传感器,挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法;也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性材料,但造价很高。6轴加速度传感器在结构上强行磁极对顶固定,互为对方的反向磁片,在间隙间形成均匀磁场。当有加速度a输入时,由挠性材料及力矩线圈组成的敏感质量块相对平衡位置运动而产生惯性力Fa或惯性力矩,然后通过换能器将此机械运动转换成电信号,6轴加速度传感器型号,再通过伺服放大器变成电流信号,电流信号被馈送到处于恒定磁场中的力矩器而产生反馈力Foc或反馈力矩Moc,与输入加速度引起的惯性力Fa或惯性力矩相平衡,直到再次***到平衡位置。通过分析石英挠性加速度计的温度误差机理,研究在不同温度条件下的静态输出特性.利用多次温度实验数据,6轴加速度传感器应用,采用更小二乘和多项式拟合的方法建立了石英挠性加速度计温度误差补偿模型.实验结果表明:温度误差补偿后,石英挠性加速度计在-20℃到50℃范围内刻度因子漂移量由10-4数量级提高到10-5数量级,零偏漂移量由800μg提高到52μg.
6轴加速度传感器作为飞船光纤IMU(惯性测量单元)的重要组件之一,将主要用于测量飞船飞行过程的线加速度,为飞船确定自身方位提供信息;此外,该产品还是飞船微重力主动隔振平台关键技术验证的重要组件,将对载荷六自由度的空间运动作准确测量,帮助平台消除振动。石英挠性加速度计是一种通***感石英摆片相对位置变化来检测加速度的精密惯性传感器,通过计算可以准确获得系统的速度和位置,为各类系统的导航、制导、控制、调平等提供准确的加速度测量信号,已广泛应用于航天、航空、船舶、石油、岩土工程等诸多领域。
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