广州TV1001Agilent分子泵维修改造-潽拓光电

广州潽拓光电科技有限公司——TV1001Agilent分子泵维修改造

安捷伦分子泵采用的3级TwissTorr 拖动级技术，通过分子泵旋转盘面，提高气体分子动能，从而有效提高抽速和极高的压缩比。的拖动级技术与上一代设计相比，功耗降低了20%。安捷伦Triscroll 和变频Triscroll 涡旋式干泵为双级涡旋式干泵，是目前市场上极限真空度的干泵

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安捷伦Agilent E8364B PNA系列网络分析仪频率范围：10 MHz-50 GHz104 dB 动态范围和 <0.006 dB 迹线噪声<26 微秒/点测量速度，32 个通道，16，001 个点TRM/LRM 校准可实现准确的晶圆上、夹具内、波导和天线测量混频器变频损耗、回波损耗、隔离度和群延迟放大器增益压缩、谐波、IMD 和脉冲射频安捷伦E8364B矢量网络分析仪是PNA系列网络分析仪平台的成员，并提供速度和精度的组合，为今天的高频率，的组件测试要求的苛刻需求。

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性能指标H2 压缩比1.5 x 106前级管道法兰尺寸KF 16 NW前级耐压 — N212 mbar启动时间< 3 min噪音水平41 dB(A)工作位置Any建议采用的前级泵容量7 m3/h抽速 — Ar250 L/s抽速 — H2220 L/s抽速 — He255 L/s抽速 — N2250 L/s气体通量 — N2、水冷250 sccm极限真空<1 x 10-10 mbar标准和认证EN 61010-1

EN 61326-1

EN 1012-2

EN 12100

EN 50581

机械指令 2006/42/EC

电磁兼容性指令 2014/30/

EU 指令 2011/65/EU法兰类型DN 100DN 160贮存环境温度-40 至 +70 °C运行环境温度+5 to +35 °C重量5.84 kg额定转速60 KRPM

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为了确认磁场对分子泵工作的影响，德国卡尔斯鲁厄理工学院（KIT）设计并执行了下面的测试：

测试条件和装置

被测分子泵的型号为 TwisTorr304 FS CFF6，使用一对亥姆霍兹线圈(直径 120 厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。

被测分子泵由一台涡旋干泵作为前级，分子泵的进气口压力抽至 1E-3 mbar 以下（该压力以下，热对流几乎为零，分子泵转子的热量仅可以通过辐射传递出去很小的一部分）。使用 20℃ 的冷却水对分子泵持续进行冷却；分子泵的控制器会自动调整电机电流，保持转子以恒定转速运行。使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的 PT100 热电阻测量定子的温度。

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TwisTorr 305 Q 系列分子泵。

该系列包含 305 FSQ、305-ICQ ，以及两个带有中间抽气口的型号 305 SF 和305-IC SF。305 FSQ 和 305 SF 通过***的控制器供电和控制，而 305-ICQ 和 305-IC SF 具有集成于泵身的控制器，只需要为其提供 24V 电源即可工作。

450 sccm 的氮气流量

305 FSQ 和 305 SF可以处理 450 sccm 的氮气流量，和 500 sccm 的氢气/氦气流量，在同等抽速和功率的产品中，是要求高气体流量的科研和工业应用的理想选择。而具有集成式控制器的 305-ICQ 和 305-IC SF 也可以处理 380 sccm 的氮气流量，和 500 sccm 的氢气/氦气流量，可以应对绝大多数的仪器应用。

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真空泵是一个量大面广的产品，产量很大，产值不高，但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的的基础产品。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。在我国，真空泵是一个量大面广的产品，TV1001Agilent分子泵维修改造，但是虽然它的产量很大，但是产值却不高。虽然真空泵是一个直接影响到真空成套设备性能质量的基础产品，不过在真空泵产品的领域.，国产品牌真空泵并不多，大量的市场份额被进口企业所把持。真空泵的市场发展速度可以用日新月异来形容，几乎每时每刻都在根据用户需求的变动而动态变化着。真空泵市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展、真空泵技术不断革新以及真空泵应用领域的日益扩大。