越秀区3KGAgilent分子泵维修升级改造-广州潽拓光电公司

广州潽拓光电科技有限公司——3KGAgilent分子泵维修升级改造

分子泵市场

　　分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。

　　由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，3KGAgilent分子泵维修升级改造，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的***。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。

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油池安装注意事项　　①、拆油

　　②、油量控制

　　③、油池卫生，防颗粒

　　④、对好、对称上紧螺钉，防止有漏

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长期存放不用不是的秘诀有客户会认为，长时间停泵不用对分子泵的损耗会比较小。但是，分子泵长时间停泵后，在表面张力和重力的作用下，轴承内部的润滑脂可能会出现收缩成团、分布不均匀等现象，反而会影响分子泵的寿命。为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀，安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月，可以使用软启动功能启动分子泵，转速以阶梯方式缓慢加速，使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月，建议送回维修中心让分子泵在的检测平台上按照既定程序加速（Re-channeling），磨合轴承。

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StarCell 的设计使其成为能抽除大量惰性气体的离子泵，该泵可以以速度和容量处理、气和氦气等惰性气体。非蒸散型吸气剂技术（NEG）是SAES集团于上世纪七十年发的。非蒸散型吸气剂对氢气、水蒸气、氮气、氧气等活性气体有很大的抽速，其通常与溅射离子泵、涡轮分子泵或者低温泵等其他真空泵结合使用，以改善系统的极限真空或者减少抽气时间。

涡轮分子泵内有多组相间动轮叶和定轮叶，每一个轮叶上有许多按一定角度斜置的叶片，如图一所示。实际的涡轮分子泵都是由多级叶列串联组成，即按动片、定片、动片等依次交替排列。动叶片转动时又类似于电风扇叶片的作用，能将气体从一侧抽到另一侧。提高分子泵的转速，有利于提高分子泵的抽速。由于叶片转速限制，如果气体分子运动速度较大，泵抽真空就比较困难。

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安捷伦真空推出了一款全新涡轮分子泵 TwisTorr 305，它继承了安捷伦TwisTorr 系列分子泵超高真空、高压缩比、全无油润滑等优点，同时（参见文章：安捷伦TwisTorr超高真空涡轮分子泵特点介绍），还拥有诸多全新的特点（参见文章：新产品 | 安捷伦新型分子泵“新”在哪？），此外，TwisTorr 305 还是安捷伦采用全新设计和制造方法所推出的款真空产品。而广州潽拓光电根据305产品特性研究，可以针对性的提供服务。

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高真空涡轮分子泵是什么？

涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵，典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在极限状态下，可以通过它实现 0.00000001Pa（大气压的十万亿分之一）的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪（比如 GC/MS、LC/MS、ICP/杠MS、TOF…）、镀膜机、电子显微镜（SEM、TEM）、聚焦离子束系统（FIB）、表面分析仪器，高能物理实验装置、粒子、高真空实验装置等诸多应用。