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石英真空计应用
在风洞中的应用
风洞模型测压试验是获得气动载荷分布和气动特性的重要方法之一。常规高速超声速风洞测压在高于2kPa高压已能够获得较好的精度,但在1kPa以下压强暂无法获得高精度的测量结果。而模型背风区压强测量,测力试验底部压强测量,低密度风洞测压试验等均存在大量微压测量任务。
用石英真空计已能测量0.2kPa-2kPa之间的压强。目前在风动中测量压强要用一细长管道将气体引出,荔湾区英福康真空计,管道长为1.3m,内径为0.9mm。风动中测量压强是要测量压强的分布,瑞士英福康真空计养护,即多点测量,这些是与通常的压强测量不同的。多点测量是将石英晶振安装在一个集成箱中,由细长管道通到被测量的位置。晶振测量电路将测量到的晶振电压与电流送到统一的主控板,该主控板就存有32个位置的压强值。
由于在被测压强位置与晶振之间存在细长管道对测量会有影响,其一是使时间常数增大,读数变化缓慢,实验测量在300Pa压强时,时间常数约55秒,在风洞测量中此时间常数仍可接受。其二是细长管道会使测量下限升高。因为晶振位置总会存在一定的放气与漏气,若放气与漏气量为Q,则在晶振处的 很低压强应为P=Q/S,Q为晶振处的放气与漏气量,S为经过细长管道后晶振处的有效抽速。实验测得经细长管道后 很低指示压强为10Pa,这对测量大于0.2kPa压强管道引起了下限的增加,对测量并无很大影响。石英真空计用于大于0.2kPa压强,测量精度约为15%。
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单侧电极inficon电容薄膜真空规管结构图郭占社等提出了基于峰值检测的微电容测量法,该方法可用于检测inficon设备上的单一电容变化量。电路采用实时峰值检测技术,只检测待测电容的变化量。 首先正弦载波信号及微分电路对inficon器件输出的电容量进行载波调制,然后通过减法电路得到幅值与电容变化量成比例的正弦信号, 很后用峰值检测方法对信号进行解调,得到直流输出。测试结果表明,该测量电路具有良好的线性,测量精度可以达到2%,灵敏度可以达到3.6V/pF。但该电路不易于小型化集成。
图2基于峰值检测的微电容测量电路框图Wang等设计了一种具有宽温度范围的基于CMOS的微电容测量电路。 电路采用相关双采样方法,Vref为输入参考电压,时钟信号Φ1、Φ2通过控制开关控制电容的充放电从而完成对敏感电容的测量。保持电容Ch1、Ch2用来存储和消除低频噪声及运算放大器的偏置电压。
电路采用结构简单、性能稳定的二阶Σ-Δ调制器来实现高的分辨率,其中电容C3=2***。测量过程分为两个阶段,当信号Cal置“0”时,电路处于正常工作状态,输出为y;当信号Cal置“1”时,电路处于校准状态,C1和C2位置互换,此时输出为y′。两种状态下的输出信号都包含由时钟反馈回路、电荷注入效应、开关漏电流等产生的噪声,两者相减即可消除这些噪声。
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感应器的实际操作理念呈现了设计和多功能性是怎么保证互相的。即便如此,可扩展性的必要性也是高过客户友的,由于液位传感器必须开展持续很多年测量和检测工作中,PS+系列产品选用特别的密封性设计方案。因而极其牢固,ISO防水等级IP6K6K、IP6K7和IP6K9K的规定,PS+系列产品
液位传感器包含选用久经考验的瓷器测量元器件(PS310)或全电焊焊接金属材料测量元器件(PS510)二种种类,瑞士英福康真空计改造升级,这种全电焊焊接测量元器件耐过压工作能力达到额定值工作压力的7倍。必需时,感应器也可安裝值工作压力孔,因为可以载入测量值和小、大工作压力。可以完成相近具备储存作用的数显式表针真空压力表的作用。
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