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分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的-种真空泵凹。1976年德国LEYBOLD公司首先开发出了磁悬浮涡轮分子泵,现在目前工业生应用*多的就是中5轴磁悬浮分子泵。除LEYBOLD公司外,德国PFEIFFER公司,英国BOCEDWA***公*,法国ALCATEL公司,日本岛津公司等都有成熟的磁悬浮分子泵产品
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