




特种气体应用于国民经济的很多行业, 它在电子行业、石油化工、医1药等各领域发挥着巨大的作用。我国特种气体经过30余年的发展, 无论在气体品种上,还是在数量上, 都以的速度发展, 生产的品种基本上满足了市场的需求。电子特种气体种类多,应用领域广泛。 电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5%~6%,但是由于其品种繁多,在半导体制程工艺中覆盖广泛,因此成为衡量半导体技术的产品。自80年代1开始,我国的气体工业迅速发展,各类纯气体、高纯气体、特种气体、混合气体、标准气体、电子工业用气体等相继问世,特种气体供应,其品种数目已与国外发达***水平相近。
工业上,把常温常压下呈气态的产品统称为气体产品.气体产品种类繁多,大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类.一般工业气体产销量大,但对纯度要求不高.特种气体产销量虽小,但根据不同的用途。特种气体兴起于60年代中期,作为基础化工材料,主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、临床诊断、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展,其应用范围也越来越广泛。特种气体是电子工业,特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体,该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。特种气体的纯度朝高纯的方向发展是特种气体产业的一个必然方向,这就要求特种气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求。
电子特种气体种类多,应用领域广泛。 电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5%~6%,但是由于其品种繁多,在半导体制程工艺中覆盖广泛,因此成为衡量半导体技术的产品。根据有关数据显示,中国特种功能电子气体市场规模逐年增长,仅2016年,中国特种电子气体市场规模约为98亿元左右。值得关注的是,从产业链以及技术层面欧美***占据较好的地位。特种气体是由两大类气体组成的。一类为单元高纯气体,另一类为混合气体。对于单元高纯气体,根据现已收集到的文献,汇总起来共有227种,可分成五个类别。
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